Fornire un ambiente sperimentale con vuoto, atmosfera controllabile e alta temperatura, utilizzato in semiconduttori, nanotecnologie, fibra di carbonio e altri campi.
Questo sistema di crescita CVD è adatto per processi CVD, come rivestimento in carburo di silicio, test di conducibilità del substrato ceramico, crescita controllata di nanostrutture ZnO ed esperimenti di sinterizzazione dell'atmosfera MLCC.
1. Il forno è realizzato con adsorbimento sottovuoto in fibra di mullite policristallina, il campo di temperatura è uniforme e il risparmio energetico è superiore al 50%
2. La tecnologia di deviazione dell'aria e di isolamento termico auto-sviluppata garantisce la durata e l'effetto della temperatura costante di ciascun componente nella scatola
3. Quando il forno elettrico viene avviato, la ventola di scarico si avvierà automaticamente allo stesso tempo. Dopo il test, l'aspiratore continuerà a funzionare fino a quando la temperatura del corpo del forno non sarà inferiore a 60 °C e l'aspiratore si fermerà automaticamente, proteggendo efficacemente la superficie del corpo del forno.
4. La porta del forno viene aperta con spegnimento automatico, funzione di protezione da sovratemperatura e funzione di protezione dalle perdite per garantire la sicurezza d'uso.
5. Il circuito adotta la modalità di uscita del riscaldamento continuo, l'alimentazione a doppio circuito e il cablaggio separato di corrente forte e debole migliora la stabilità del sistema
6. Il modulo di riscaldamento adotta il segnale CC per regolare la potenza di uscita, che evita l'interferenza dell'elettricità indotta al segnale di controllo.
7. I pulsanti in metallo a bassa tensione vengono utilizzati per i pulsanti operativi, con indicatori luminosi di stato, funzionamento sicuro e intuitivo.
8. I corpi del forno superiore e inferiore sono collegati da spine aeronautiche, che sono sicure, affidabili e convenienti da collegare.
9. Il gruppo del circuito del gas è realizzato in acciaio inossidabile alimentare 316, che ha resistenza alla corrosione, resistenza alla corrosione atmosferica e resistenza alle alte temperature ed è non magnetico
10. Adottare lo strumento di visualizzazione del flusso digitale, cooperare con il regolatore di flusso di massa, raccogliere dati e controllare il flusso. Ha le caratteristiche di buona ripetibilità, velocità di risposta rapida, stabilità e affidabilità. (Sistema di controllo del flusso di massa del gas)
11. Controllo automatico e funzione di commutazione del controllo manuale, la modalità di controllo automatico può aprire/chiudere automaticamente la pompa del vuoto attraverso il valore impostato, in modo che il contenitore possa essere mantenuto entro un determinato intervallo di pressione del vuoto. La modalità di controllo manuale consente all'utente di azionare direttamente la pompa del vuoto tramite il pulsante on/off della pompa del vuoto. per soddisfare le esigenze di diversi esperimenti. (Sistema di controllo del vuoto medio)
12. La tecnologia di avvio lento dell'elettrovalvola fa aprire l'elettrovalvola 10 secondi dopo l'accensione della pompa del vuoto, in modo che la pressione del sistema nel tubo del forno sia mantenuta precisa e garantisca anche che il gas di scarico non ritorni al forno sistema di tubi per influenzare l'effetto sperimentale (sistema di controllo del vuoto medio)
Modello | CVD-LTF12P50 | CVD-LTF12P60 | CVD-LTF12P80 | CVD-LTF12P100 |
CVD-LTF12T50 | CVD-LTF12T60 | CVD-LTF12T80 | CVD-LTF12T100 | |
CVD-LTF12P50S | CVD-LTF12P60S | CVD-LTF12P80S | CVD-LTF12P100S | |
CVD-LTF12T50S | CVD-LTF12T60S | CVD-LTF12T80S | CVD-LTF12T100S | |
Intervallo operativo di temperatura | 300-1200°C | |||
risoluzione della temperatura | 1°C | |||
precisione della temperatura | ±1°C | |||
Tasso di riscaldamento | 0-20°C/min | |||
Lunghezza della zona di riscaldamento | 420 mm | |||
Lunghezza della zona a temperatura costante | Zona di temperatura singola：210mm；Zona di temperatura doppia：280mm | |||
vuoto massimo | -0.1MP3 | |||
Tempo di riscaldamento a forno vuoto | ≤15 min | |||
Velocità di riscaldamento durante la configurazione del tubo del forno | Al di sotto di 500°C≤5°C/min； 500-800≤ 10°C/min； 800-1000≤5°C/min； 1000-1200≤2t°C/min | |||
Esterno | Lamiere di acciaio laminate a freddo - rivestimento superficiale resistente agli agenti chimici | |||
Corpo del forno | Fibra di mullite policristallina | |||
Dimensione del forno | Esterno：φ240-550mm；Interno：φ120*420mm | |||
Tubo del forno | Tubo al quarzo | |||
Dimensione del tubo del forno | φ50/43*1000 | φ 60/53*1000 | φ80/72*1000 | φ 100/92*1000 |
Stufa | Filo in lega di nichel-cromo-alluminio OCr27A17MO2 | |||
Potenza di riscaldamento | Zona di temperatura singola：3KW：Zona di doppia temperatura：3.2KW | |||
Strato di isolamento termico | Deviazione dell'aria forzata a doppio strato | |||
Modo aperto | Flip posteriore a conchiglia (circa 100 gradi) | |||
Controllore | P: display digitale di controllo della temperatura del programma importato; T: controllo della temperatura del programma touch screen a colori da 7 pollici | |||
Metodo di controllo | Utilizzo del controllo PID del microcomputer / controllo della temperatura singola a doppia zona di temperatura di tipo S | |||
Imposta tipo | P: toccare cinque pulsanti per l'azione, impostazione del display digitale; T: Tocca con le dita e tocca per impostare | |||
Metodo di visualizzazione | P: display digitale LED a doppia riga; T: display LCD a colori | |||
Tempismo | 0-999,9 ore | |||
Funzione Esegui | Operazione a valore fisso. Funzionamento del programma | |||
Modalità programma | P: Programma in esecuzione, 4 curve, per un totale di 40 passi; T: Massimo 50 passi, è possibile richiamare il programma memorizzato | |||
Sensore | Termocoppia di tipo K | |||
Funzione ausiliaria | P: funzione di correzione; T: funzione di correzione, registrazione della curva in tempo reale, esportazione dei dati del disco U | |||
Equipaggiamento di sicurezza | Interruttore di protezione da sovracorrente | |||
Numero di percorsi aerei | 3 canali (il numero di canali d'aria può essere selezionato in base alle specifiche esigenze) | |||
Gamma di flusso | 0-0500sccm (Standard ml/min, opzionale) Standard di azoto | |||
Precisione | ±1%F.S | |||
Tempo di risposta | ≤4s | |||
Temperatura di esercizio (flussometro) | 5-45°C | |||
Pressione di lavoro | Pressione di ingresso 0,05-0,3 MPa (pressione relativa) | |||
Connessione di sistema | Adotta il soffietto a connessione rapida KF, la valvola a cerniera manuale per alto vuoto e lo strumento di misurazione del vuoto con display digitale | |||
Gamma di vuoto del sistema | 10-100Pa | |||
Pompa a vuoto | Il grado di vuoto massimo teorico della pompa meccanica a due stadi è 3×10-1Pa, la velocità di pompaggio è 4L/S, l'uscita dell'aria è dotata di un filtro dell'olio, la tensione nominale è 200V e la potenza è 0,55Kw | |||
Configurazione del sistema CVD | Forno tubolare a vuoto aperto a 1200 gradi (zona a temperatura singola opzionale, zona a doppia temperatura) Sistema di controllo del flusso di massa multicanale sistema a vuoto attorcigliato | |||
Dimensioni del corpo del forno | 980mm*400mm*600mm | |||
Dimensioni del sistema | 770mm*580mm*778mm | |||
Peso totale del sistema | 210 kg | |||
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